Alvos de pulverização catódica de barramento de cobre de alta pureza (4N-6N)
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Alvo de pulverização catódica com barramento de cobre de alta pureza – Declaração de processo e garantia de qualidade
Nossos alvos de barramento de cobre são desenvolvidos especificamente para deposição física de vapor em grandes áreas e alto volume, onde o revestimento uniforme em extensas distâncias é fundamental.
Principais características do processo
A fabricação emprega técnicas metalúrgicas e de usinagem avançadas para oferecer desempenho consistente:
●Material inicial: Cátodos de cobre eletrolítico premium com pureza ultra-alta comprovada servem como base.
●Refino a vácuo: Múltiplas etapas de fusão a vácuo removem impurezas gasosas e metálicas para atingir níveis de pureza de 4N a 6N.
●Fundição Contínua: A extrusão a quente controlada ou fundição contínua produz tarugos longos e densos com estrutura homogênea.
●Trabalho a quente: A forjagem e a laminação refinam o tamanho do grão e atingem uma densidade quase teórica total.
● Corte e usinagem de precisão: O corte e a fresagem CNC criam dimensões retangulares precisas com faces paralelas.
●Preparação da superfície: O processo de retificação e polimento em múltiplos estágios produz superfícies de pulverização catódica limpas e sem defeitos.
●Opções de ligação: Ligação a baixa temperatura com índio ou elastômero em placas de suporte de aço inoxidável ou molibdênio disponível.
●Embalagem para sala limpa: A limpeza ultrassônica final e a selagem a vácuo com dupla embalagem garantem a entrega livre de contaminação.
Sistema de controle de qualidade
● Rastreabilidade completa desde a fonte do cátodo até o barramento finalizado.
● Certificação completa do material e relatórios de teste fornecidos com cada unidade
● Amostras arquivadas mantidas por ≥3 anos para verificação independente (SGS, BV, etc.)
● Inspeção de 100% dos parâmetros essenciais:
• Verificação de pureza (análise GDMS/ICP; oxigênio tipicamente <5 ppm)
• Teste de densidade (≥99,5% teórico)
• Avaliação da estrutura granular (metalografia)
• Precisão dimensional (CMM; paralelismo ≤0,1 mm típico)
• Qualidade e rugosidade da superfície (perfilômetro + inspeção em sala limpa)
● As especificações internas superam os padrões ASTM F68. Características típicas: Condutividade térmica >395 W/m·K, comportamento consistente de pulverização catódica sem arco elétrico, altas taxas de deposição em sistemas de magnetron.











